オランダの半導体製造装置大手ＡＳＭＬは１１日、北海道千歳市に拠点を開設したことを明らかにした。次世代半導体の国産化を目指し、同市内に工場を建設中のラピダス（東京）に協力し、ＡＳＭＬが世界で唯一製造している極端紫外線（ＥＵＶ）露光装置の導入や保守点検を担う。

ＥＵＶ露光装置は半導体回路の微細化に欠かせない。ＡＳＭＬは１０日にＪＲ千歳駅直結のビル内に拠点を開設。最先端となる回路線幅２ナノメートル（ナノは１０億分の１）の半導体の量産を目指すラピダスを支援する体制を整える。

【時事通信社】