宮城に半導体装置生産棟＝１０００億円超で―東京エレクトロン

東京エレクトロンは６日、宮城県の工場に半導体製造装置の生産棟を新設すると発表した。建設費用は約１０４０億円。半導体の急速な需要拡大に対応するため、材料のウエハー（基板）上の薄膜を削って回路を形成する「プラズマエッチング装置」などの生産能力を増強する。

子会社の東京エレクトロン宮城（宮城県大和町）の本社工場に建設する。今年６月の着工を予定し、２０２７年夏の完成を見込む。地上５階建てで、延べ床面積は約８万８６００平方メートル。

【時事通信社】