1994年東京大学工学部機械情報工学科卒業。1999年東京大学大学院工学系研究科産業機械工学専攻博士課程修了。博士（工学）。1999年東北大学大学院工学研究科助手。2001年同講師、2003年同助教授を経て2013年に同教授。マイクロシステム融合研究開発センター教授を兼務。2004年科学技術振興機構研究開発戦略センターフェロー（兼務）。2006年同特任フェロー。2010年9月～2011年3月ルーベンカトリック大学客員教授としてimecに滞在。2017年度日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門部門長。2019年からMEMS Engineer Forum委員長。2020年からIEEE Ultrasonics, Feroelectrics, and Frequency Control Society Adcom Member。IEEE MEMS 2022 General Chair。科学技術分野の文部科学大臣表彰若手科学者賞（2009年）、ドイツ・イノベーション・アワード（2012年），日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門部門賞研究功績賞（2019年）、他受賞多数。MEMSセンサー、集積化技術、MEMSパッケージング技術、弾性波デバイス、圧電デバイス・材料などの研究に従事。IEEE Fellow，日本機械学会フェロー。