キヤノン、FPD露光装置「MPAsp-E903T」を発売

キヤノンは、第6世代ガラス基板サイズ（※1）に対応したFPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置の新製品として、さらなる高精細化が期待されている次世代の中小型ディスプレイ向けに解像力1.2マイクロメートル（※2）（L/S（※3））を実現した"MPAsp-E903T"を2020年11月下旬に発売します。

ディスプレイは、有機ELの普及により高精細化が進むと同時に、スマートフォンでは薄型・軽量化、フォルダブル（折りたたみ）対応では大型化しています。一方、VR関連ディスプレイでは小型化が進み、多様化しています。新製品は、次世代ディスプレイ製造に不可欠なさらなる高精細化のニーズに対応し、多種多様なパネル生産に貢献します。

■FPD露光装置として最高（※4）の解像力1.2マイクロメートルを実現

FPD露光装置として、初めて（※4）DUV（深紫外（※5））波長を発光する新光源を搭載しました。波長が変化しても色収差の影響が少ないミラー光学系特有の利点を生かすことで、これまでに使われている紫外光よりも短い波長を実現した新光源と、新たに開発した投影光学系により、解像力1.2マイクロメートルでの露光が可能です。さらに、位相シフトマスクなどの超解像技術（※6）で解像力1.0マイクロメートルの露光も可能です。これにより、ディスプレイのさらなる高精細化に貢献します。

■多様な露光モードなどでユーザーのプロセスに適した生産ラインを柔軟に構築

新投影光学系と新照明系の搭載に加え、露光モード数を増やしたことで、多様な回路パターンを効率的に、適した条件で照射できます。また、フォトマスクの大きさやインターフェースが共通の従来機種「MPAsp-E813H」（2014年9月発売）と組み合わせて使うこともでき、ユーザーのプロセスに適した生産ラインの柔軟な構築を実現します。

■生産性を維持しながらオーバーレイ精度を向上

装置内レイアウトと温度調節システムの改良により、±0.25マイクロメートルの高いオーバーレイ精度（重ね合わせ精度）を実現しています。これにより、ディスプレイの高精細化を求めるユーザーのニーズに対応します。

※1　1,500×1,850mmサイズのガラス基板で、スマートフォンを中心とした中小型ディスプレイの製造に用いられる。

※2　1マイクロメートルは、100万分の1メートル（=1000分の1mm）。

※3　Line and Spaceの略称。LineとSpaceが等間隔に並んだパターン。

※4　FPD露光装置において。2020年11月15日現在。（キヤノン調べ）

※5　Deep ultra-violetの略称。従来のFPD露光装置で使用する紫外光と比較し短波長の紫外光。

※6　光の位相や強度を制御し、露光装置の解像力を向上させる技術。