大日本スクリーン製造は、半導体製造装置の生産合理化やプロセス開発の効率化に役立つ、ウエハー表面の液流動挙動に関する解析技術を確立した。

　このシミュレーション解析技術は、同社独自のアルゴリズムを採用した数値解析ツールを使い、回転させたウエハー表面の液流動挙動を解析するもの。シミュレーションで得られた数値データの精度を検証するために、専用の枚葉式洗浄装置を製作し、ウエハー表面を流れる薬液の速度分布や液膜の厚みを3次元的に実測。さらに、高速カメラで挙動を可視化し、シミュレーション結果と実測値がほぼ合致することを確認したという。

　これにより、従来の実験・計測手法では把握することが難しかったナノレベルの情報が容易に得られ、また、製品開発の初期段階で装置の性能を的確に予測し、設計にフィードバックできるようになる。さらに、プロセスや材料を変更した場合の実効性や生産能力の限界予測も行えるため、大口径ウエハーの検証をはじめさまざまな実験に幅広く活用できるなど、開発ツールとしても期待できるとしている。